日本入口Kosaka公司制作的臺階儀裝備,接納直動式傳感器,丈量精度高,無需線性彌補,可切確丈量FPD基板、硅晶片、硬盤等外表微細外形、臺階和粗拙度等.

 1,最大工件尺寸: 160mm.

 2,最大工件厚度: 50mm.

 3.傳感器分化能: 0.1nm.

 4, X軸最大測長: 100mm.

 5, X軸挪動真直度: 0.2μm/100mm 0.005um/5mm

 6,測定力: 10uN~500uN

 7,再現性: 1∂= 1nm(全量程), 1um以上臺階重現性可達0.2nm以下