光譜橢偏儀
ELLIPSOMETER
裝備簡介
進步前輩的光譜橢偏儀,接納J.A.Woollam公司專利的扭轉彌補手藝,能夠對PSI Delta停止360°無死角丈量。接納CCD陣列探測器完成疾速丈量、全光譜丈量。能夠表征半導體、無機資料、金屬等的光學常數和膜厚,利用普遍. 根基手藝參數
Basic technical parameters
1,光譜規模370nm-1000nm.
2,變角規模45°-90°持續可變角,計較機主動節制
3, Z軸規模: 20mm,計較機主動節制.
4,丈量時候:全光譜丈量1-5秒.
5.微光斑:可將光斑減少至200um擺布.
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